一、概況
干式螺桿真空泵,是利用一對旋向相反的螺桿轉子,在泵殼中作同步高速嚙合旋轉運動,產生吸氣和排氣作用的抽氣設備。采用免維護設計技術解決了真空泵維護麻煩和費用高的問題。真空泵工作腔內無需潤滑油和密封液,可回收各類可凝性氣體,解決了蒸汽噴射泵、滑閥泵、旋片泵、液環泵等可能對真空系統造成的污染和對環境造成的污染問題,同時回收物還能創造附加經濟效益。
二、主要特點
●單級設計可以獲得5Pa的高真空,從大氣到極限真空可連續長期運行。
●單級設計能夠輕易排出固體廢物,并去除泵內殘余物。
●螺桿材質為整體式球墨鑄鐵強度高、可靠性好。
●螺桿轉子間無接觸無摩擦,轉速高且平穩。
●噪聲振動低,適用于微電子、半導體等安靜環境。
●泵腔無油結構設計,無廢氣、無廢液排放,特別環保節能。
●具有特種涂層的螺桿轉子和泵腔,可以抽除可凝氣體,有毒有害氣體。
●內部零件可進行防腐涂層處理,可適用于化工制藥行業的特殊要求。