醫療真空機組是由真空泵、各種管道、集成傳感器、真空計、測量儀、電控系統等一系列配套的真空輔助設備組成,根據主泵的種類而定,按應用范圍分為低真空機組、中空泵機組、高真空機組和超高真空機組。
1)低真空機組一般采用直排式真空泵,如容積式往復泵、水環泵、油封機械泵、螺旋真空泵、濕式羅茨泵、噴射泵、分子篩吸附泵等,低真空機組工作壓力高、排氣量大、真空度高。
2)中真空機組主要由羅茨真空泵+油封機械泵、羅茨真空+水環真空泵和雙羅茨真空泵等組合。由于螺旋無油真空泵的廣泛應用,無油真空泵如羅茨真空泵+螺桿真空泵也逐漸增多,適用于需要大抽速、得到中真空的各種真空系統中,如鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理及醫藥化工、電工焊接等行業。
高真空機組工作于分子流狀態,工作壓力范圍在10-2~10-6Pa,排量小,抽速大,主泵由擴散泵、分子泵、液力泵、液力泵、液力泵等組成,主要由擴散泵、分子泵、泵等組成,泵的工作壓力范圍在10-2~10-6Pa。
超高真空機組壓力區間為10-6~10-10Pa,主泵的極限真空范圍為10-7~10-8Pa,保證在壓力范圍內保證相應的抽速,對系統組成的材料要求能承受200~450℃高溫烘烤并低漏氣率與出氣率。
真空機組的試驗值。
真空機組系統是真空機組中的關鍵參數,如"真空度(負壓或增壓)"、"流量"等數據,進行實時監控、自動調節,例如完成"真空保壓"、"自動定時停機、起動"定時定量"真空抽濾"等功能控制系統,稱為真空系統。